薄膜厚度仅1微米，中子探测器关键技术碳化硼薄膜在东莞研制乐成

南方财经全媒体记者程浩 东莞报道

克日 ，薄膜薄膜南方财经全媒体记者从中国散裂中子源患上悉，厚度化硼位于东莞松山湖的仅微键技中国散裂中子源(CSNS)探测器团队运用自主研制的磁控溅射大面积镀硼专用装置，乐成制备出知足中子探测器需要的米中高功能大面积碳化硼薄膜样品 
，单周全积抵达1500妹妹×500妹妹 ，探测薄膜厚度1微米 ，器关全尺寸规模内厚度平均性优于±1.32% ，术碳是东莞当初国内上用于中子探测的最大面积的碳化硼薄膜。

图为中国散裂中子源团队研发的高功能大面积碳化硼薄膜样品（受访单元供图）

位于东莞松山湖迷信城的中国散裂中子源被誉为审核宏不雅天下的“超级显微镜”，而中子探测器就像这个大迷信装置的乐成“眼睛”，用来发现样品的薄膜薄膜宏不雅妄想
。

之后，厚度化硼基于硼转换的仅微键技中子探测器因其优异的功能已经成为国内上钻研的热门，随着中国散裂中子源(CSNS)二期工程即将启动 ，米中拟建的探测中子谱仪对于大面积、高功能、位置锐敏的新型中子探测器需要紧迫。

据清晰
，若何制备出高功能中子转换碳化硼薄膜是其中最中间的技术
，当初也惟独美国
、欧洲等少数多少个发达国家把握了该项技术
。

2016年 ，在核探测与核电子学国家重点试验室的反对于下 ，中国散裂中子源(CSNS)探测器团队与同济大学朱京涛教授相助，开始研制一台磁控溅射大面积镀硼专用装置，镀膜厚度规模为0.01~5微米，同时反对于单 
、双面镀膜，反对于射频以及直流镀膜
。

2021年6月
，该装置经由了重点试验室验收并投入运用。

经由多年的技术攻关以及工艺试制，该团队并吞了溅射靶材制作、过渡层抉择 、基材概况处置等对于镀膜品质影响大的关键技术，运用该装置制备了多种规格的碳化硼薄膜，并乐成运用于中国散裂中子源多台中子谱仪上的陶瓷GEM中子探测器，实现为了中子探测器关键技术以及器件的国产化，为接下来研制更大面积的高功能新型中子探测器提供了强有力的技术反对于。

（作者：程浩 编纂：于长洹）

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